多功能连续磁控溅射镀膜线共设计有十五个真空腔体，其中进口室一个、出口室一个、进口缓冲室一个、出口缓冲室一个、进口传送室一个、出口传送室一个和传送室两个；溅射镀膜室七个，每个溅射镀膜室可以同时安装四个阴极，可以采用直流磁控溅射工艺沉积ITO导电膜和金属膜，也可以采用反应交流磁控溅射沉积SiO2等介质膜；高真空室采用插板阀隔离，通过改变气氛隔离效果可以实现多功能镀膜；基片架运行轨道采用磁导向传动；设备配有26台涡轮浮分子泵，13台机械泵以获得稳定的抽速和均匀的气体分布。购买真空镀膜机服务热线：136 0028 7057 胡经理网站：http://huic-hyj.comhttp://huichyj.icoc.cn
镀种:真空电镀电镀电源:直流电源,双脉冲电源电镀位置:轮镀品牌:汇成
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公司名:东莞市汇成真空科技有限公司
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